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所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

　

書名

プラズマ・イオンビームとナノテクノロジー　(CMCテクニカルライブラリー)

著者名 上条 栄治／監修
著者名ヨミ カミジョウ エイジ
出版者 シーエムシー出版
出版年月 2007.3

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No. 所蔵館 資料番号 請求記号 所蔵場所 配架場所 帯出区分 状態 貸出
1 ミライｏｎ1116778461549.1/ﾌﾟ-07/３F閉架図書帯出可在庫  ○

書誌詳細

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書誌種別 図書（一般）
著者名 上条 栄治／監修
著者名ヨミ カミジョウ エイジ
出版者 シーエムシー出版
出版年月 2007.3
ページ数 316p
大きさ 21cm
ISBN 4-88231-915-3
分類記号 549.1
書名 プラズマ・イオンビームとナノテクノロジー　(CMCテクニカルライブラリー)
書名ヨミ プラズマ イオン ビーム ト ナノテクノロジー
欧文タイトル:Ion Beam and Plasma Process for Nanotechnology-初版のタイトル:プラズマ・イオンビーム応用とナノテクノロジー
内容紹介 ナノテクノロジーの基盤技術としてのプラズマ・イオンビーム技術という観点から、プラズマ、イオンと固体物質の相互作用、各種装置および機能性材料の創成プロセスへの応用に重点を置き、研究の最先端を紹介。



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