蔵書情報
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書名 |
よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み (図解入門-How‐nual-)
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著者名 |
佐藤 淳一/著
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著者名ヨミ |
サトウ ジュンイチ |
出版者 |
秀和システム
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出版年月 |
2010.5 |
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資料情報
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No. |
所蔵館 |
資料番号 |
請求記号 |
所蔵場所 |
配架場所 |
帯出区分 |
状態 |
貸出
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1 |
ミライon | 1118109779 | 549.8/サ-10/ | 3F | 閉架図書 | 帯出可 | 在庫 |
○ |
書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
書誌種別 |
図書(一般) |
著者名 |
佐藤 淳一/著
|
著者名ヨミ |
サトウ ジュンイチ |
出版者 |
秀和システム
|
出版年月 |
2010.5 |
ページ数 |
231p |
大きさ |
21cm |
ISBN |
4-7980-2610-7 |
分類記号 |
549.8
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書名 |
よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み (図解入門-How‐nual-) |
書名ヨミ |
ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ |
副書名 |
製造装置の全体を俯瞰する |
副書名ヨミ |
セイゾウ ソウチ ノ ゼンタイ オ フカン スル |
内容紹介 |
洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。 |
著者紹介 |
〈佐藤淳一〉京都大学大学院工学研究科修士課程修了。ナノフロント研究所代表。半導体技術コンサルタント、テクニカルライターとして活動。著書に「よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」など。 |
内容細目
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