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No.	所蔵館	資料番号	請求記号	所蔵場所	配架場所	帯出区分	状態	貸出
1	ミライｏｎ	1118349395	549.8/ﾏ-11/	３F	閉架図書	帯出可	在庫	○

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別	図書（一般）
著者名	前田和夫／著
著者名ヨミ	マエダカズオ
出版者	技術評論社
出版年月	2011.8
ページ数	249p
大きさ	21cm
ISBN	4-7741-4750-5
分類記号	549.8
書名	はじめての半導体製造装置　(現場の即戦力)
書名ヨミ	ハジメテノハンドウタイセイゾウソウチ
	工業調査会 1999年刊の再刊
内容紹介	半導体デバイスの製造工程との関わりから、技術史、種類と役割、構成と方式、各装置の概要まで、半導体製造装置に関わる知識を解説。半導体製造装置技術のロードマップ、21世紀の半導体製造装置なども紹介する。
著者紹介	〈前田和夫〉横浜国立大学工学部化学工学科卒業。工学博士。(株)半導体プロセス研究所設立。米国SEMI(半導体装置材料協会)よりSEMMY賞授与。2008年逝去。