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所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

　

書名

よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み　(図解入門-How‐nual-)

著者名 佐藤 淳一／著
著者名ヨミ サトウ ジュンイチ
出版者 秀和システム
出版年月 2011.10

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No. 所蔵館 資料番号 請求記号 所蔵場所 配架場所 帯出区分 状態 貸出
1 ミライｏｎ1118395166549.7/ｻ-11/３F閉架図書帯出可在庫  ○

書誌詳細

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書誌種別 図書（一般）
著者名 佐藤 淳一／著
著者名ヨミ サトウ ジュンイチ
出版者 秀和システム
出版年月 2011.10
ページ数 271p
大きさ 21cm
ISBN 4-7980-3063-0
分類記号 549.7
書名 よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み　(図解入門-How‐nual-)
書名ヨミ ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ リソグラフィ ノ キホン ト シクミ
副書名 リソグラフィ技術の核心に迫る
副書名ヨミ リソグラフィ ギジュツ ノ カクシン ニ セマル
内容紹介 リソグラフィの基礎から発展までの技術を、プロセスフローを例にして豊富なイラストで分かりやすく解説した入門書。半導体製造現場に近い視点も取り入れ、歴史的経緯にも触れながら説明する。
著者紹介 〈佐藤淳一〉京都大学大学院工学研究科修士課程修了。ナノフロント研究所代表。半導体技術コンサルタント、テクニカルライターとして活動。著書に「半導体の基礎強化書」など。



内容細目

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