蔵書情報
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書名 |
現場のスパッタリング薄膜Q&A 第2版
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著者名 |
小島 啓安/著
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著者名ヨミ |
コジマ ヒロヤス |
出版者 |
日刊工業新聞社
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出版年月 |
2015.2 |
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資料情報
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No. |
所蔵館 |
資料番号 |
請求記号 |
所蔵場所 |
配架場所 |
帯出区分 |
状態 |
貸出
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1 |
ミライon | 1119543100 | 549.8/コ-15/ | 3F | 開架図書 | 帯出可 | 在庫 |
○ |
書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
書誌種別 |
図書(一般) |
著者名 |
小島 啓安/著
|
著者名ヨミ |
コジマ ヒロヤス |
出版者 |
日刊工業新聞社
|
出版年月 |
2015.2 |
ページ数 |
437p |
大きさ |
21cm |
ISBN |
4-526-07366-3 |
分類記号 |
549.8
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書名 |
現場のスパッタリング薄膜Q&A 第2版 |
書名ヨミ |
ゲンバ ノ スパッタリング ハクマク キュー アンド エー |
副書名 |
反応性高速スパッタの実務アドバイス |
副書名ヨミ |
ハンノウセイ コウソク スパッタ ノ ジツム アドバイス |
内容紹介 |
太陽電池や燃料電池などを作る際に役立つスパッタ技術。現場で遭遇する疑問を、スパッタリングプロセスの第一人者が、Q&A形式でわかりやすく解説。実際にスパッタリングを使った薄膜作製の開発現場での失敗談も盛り込む。 |
著者紹介 |
〈小島啓安〉東京都立大学大学院工学研究科工業化学専攻修士課程修了。名古屋大学より学位取得。同大学客員教授。スパッタリングプロセス、薄膜に関するコンサルタント会社(有)アーステックを設立。 |
内容細目
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