検索結果書誌詳細：蔵書検索システム

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蔵書情報

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No.	所蔵館	資料番号	請求記号	所蔵場所	配架場所	帯出区分	状態	貸出
1	ミライｏｎ	1119933251	530/ｴ-16/	３F	開架図書	帯出可	在庫	○

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別	図書（一般）
著者名	江刺正喜／共著　小野崇人／共著
著者名ヨミ	エサシマサヨシ　オノタカヒト
出版者	森北出版
出版年月	2016.6
ページ数	151p
大きさ	22cm
ISBN	4-627-77551-0
分類記号	530
書名	これからのMEMS
書名ヨミ	コレカラノメムス
副書名	LSIとの融合
副書名ヨミ	エルエスアイトノユウゴウ
内容紹介	最先端技術MEMS(微小電気機械システム)の世界的権威である著者が、これまで不可能とされた「ヘテロ集積化技術」を中心に、MEMSの今後の開発促進や有効利用について解説する。「はじめてのMEMS」の続編。
著者紹介	〈江刺正喜〉1949年宮城県生まれ。東北大学原子分子材料科学高等研究機構教授。工学博士。