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蔵書情報

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所蔵数	1	在庫数	1	予約数	0

書名	薄膜工学　第3版
著者名	日本学術振興会薄膜第131委員会／編集企画
著者名ヨミ	ニホンガクジュツシンコウカイハクマクダイヒャクサンジュウイチイインカイ
出版者	丸善出版
出版年月	2016.11

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各蔵書資料に関する詳細情報です。

No.	所蔵館	資料番号	請求記号	所蔵場所	配架場所	帯出区分	状態	貸出
1	ミライｏｎ	1211103393	549.8/ﾖ-16/	３F	開架図書	帯出可	在庫	○

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別	図書（一般）
著者名	日本学術振興会薄膜第131委員会／編集企画　金原粲／監修　吉田貞史／編著　近藤高志／編著
著者名ヨミ	ニホンガクジュツシンコウカイ　キンバラアキラ　ヨシダサダフミ　コンドウタカシ
出版者	丸善出版
出版年月	2016.11
ページ数	302p
大きさ	21cm
ISBN	4-621-30098-5
分類記号	549.8
書名	薄膜工学　第3版
書名ヨミ	ハクマクコウガク
内容紹介	薄膜分野に携わる研究者・技術者に最適な、基本技術の解説書。薄膜工学の基礎から、薄膜作製法、評価法、薄膜の機能と応用までをまとめる。近年広がりをみせる薄膜技術に対応するため、大幅な改訂を行った第3版。