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資料情報
各蔵書資料に関する詳細情報です。
No. |
所蔵館 |
資料番号 |
請求記号 |
所蔵場所 |
配架場所 |
帯出区分 |
状態 |
貸出
|
1 |
ミライon | 5113164670 | 501.4/プ/ | 3F | 閉架図書 | 帯出可 | 在庫 |
○ |
2 |
ミライon | 1211122532 | 501.4/プ-17/ | 3F | 閉架図書 | 帯出可 | 在庫 |
○ |
書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
書誌種別 |
図書(一般) |
著者名 |
プラズマ・核融合学会/編
|
著者名ヨミ |
プラズマ カク ユウゴウ ガッカイ |
出版者 |
森北出版
|
出版年月 |
2017.1 |
ページ数 |
273p |
大きさ |
22cm |
ISBN |
4-627-77561-9 |
分類記号 |
501.4
|
書名 |
プラズマプロセス技術 |
書名ヨミ |
プラズマ プロセス ギジュツ |
副書名 |
ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー |
副書名ヨミ |
ナノ ザイリョウ サクセイ カコウ ノ タメ ノ アトム テクノロジー |
内容紹介 |
超微細エッチング、プラズマCVD成膜、ナノ材料・構造の創製…。プラズマとそれによる材料プロセスについて、従来の技術を体系的に記述するとともに、最新の研究や技術についてまとめる。 |
内容細目
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