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書名

ドライプロセス表面処理大全　(技術大全シリーズ)

著者名 関東学院大学材料・表面工学研究所／編
著者名ヨミ カントウ ガクイン ダイガク ザイリョウ ヒョウメン コウガク ケンキュウジョ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2019.3

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No. 所蔵館 資料番号 請求記号 所蔵場所 配架場所 帯出区分 状態 貸出
1 ミライｏｎ1211664564566.7/ﾄﾞ-19/３F開架図書帯出可在庫  ○

書誌詳細

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書誌種別 図書（一般）
著者名 関東学院大学材料・表面工学研究所／編
著者名ヨミ カントウ ガクイン ダイガク ザイリョウ ヒョウメン コウガク ケンキュウジョ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2019.3
ページ数 285p
大きさ 21cm
ISBN 4-526-07968-9
分類記号 566.7
書名 ドライプロセス表面処理大全　(技術大全シリーズ)
書名ヨミ ドライ プロセス ヒョウメン ショリ タイゼン
内容紹介 真空や大気圧下で金属、無機化合物、有機化合物などの薄膜を形成する表面処理方法であるドライプロセス。真空技術や基板前処理などの基礎、PVD、CVD、エッチングなどの原理を解説し、応用例や最新技術等を紹介する。



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