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書名

はじめての半導体ドライエッチング技術　改訂版(現場の即戦力)

著者名 野尻 一男／著
著者名ヨミ ノジリ カズオ
出版者 技術評論社
出版年月 2020.11

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No. 所蔵館 資料番号 請求記号 所蔵場所 配架場所 帯出区分 状態 貸出
1 ミライｏｎ1212107477549.8/ﾉ-20/３F開架図書帯出可在庫  ○

書誌詳細

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書誌種別 図書（一般）
著者名 野尻 一男／著
著者名ヨミ ノジリ カズオ
出版者 技術評論社
出版年月 2020.11
ページ数 10,188p
大きさ 21cm
ISBN 4-297-11599-9
分類記号 549.8
書名 はじめての半導体ドライエッチング技術　改訂版(現場の即戦力)
書名ヨミ ハジメテ ノ ハンドウタイ ドライ エッチング ギジュツ
内容紹介 ドライエッチングのメカニズムを極力数式を使わないで説明した入門書。基礎から装置、最先端の応用技術に至るまで系統的に理解できるように解説。ドライエッチング技術の今後の課題と展望についても言及する。
著者紹介 群馬大学大学院工学研究科修士課程修了。(株)日立製作所、ラムリサーチ(株)を経て独立。ナノテクリサーチ代表。共著に「先端電気化学」など。



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