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所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

　

書名

ナノ加工技術ハンドブック　

著者名 ナノ加工技術ハンドブック編集委員会／編
著者名ヨミ ナノ カコウ ギジュツ ハンドブック ヘンシュウ イインカイ
出版者 大阪公立大学出版会
出版年月 2025.11

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No. 所蔵館 資料番号 請求記号 所蔵場所 配架場所 帯出区分 状態 貸出
1 ミライｏｎ1213240866549/ﾅ-25/３F開架図書帯出可在庫  ○

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別 図書（一般）
著者名 ナノ加工技術ハンドブック編集委員会／編
著者名ヨミ ナノ カコウ ギジュツ ハンドブック ヘンシュウ イインカイ
出版者 大阪公立大学出版会
出版年月 2025.11
ページ数 9,457p
大きさ 26cm
ISBN 4-909933-97-3
分類記号 549
書名 ナノ加工技術ハンドブック　
書名ヨミ ナノ カコウ ギジュツ ハンドブック
内容紹介 ナノ加工を行う際に必要となる基礎から応用までの知識を、図表を交え包括的にわかりやすく解説。微細加工技術、ナノ加工のプロセス科学と装置、ナノ構造形成技術、評価・計測、デバイス応用を取り上げる。



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