検索結果書誌詳細：蔵書検索システム

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蔵書情報

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No.	所蔵館	資料番号	請求記号	所蔵場所	配架場所	帯出区分	状態	貸出
1	ミライｏｎ	1113143580	549.8/ﾊ/	３F	閉架式見	帯出可	在庫	○

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別	図書（一般）
著者名	平尾孝／〔ほか〕共著
著者名ヨミ	ヒラオタカシ
出版者	工業調査会
出版年月	1997.7
ページ数	258p
大きさ	19cm
ISBN	4-7693-1157-5
分類記号	549.8
書名	薄膜技術の新潮流　(ケイブックス)
書名ヨミ	ハクマクギジュツノシンチョウリュウ
副書名	多彩な新規応用をカバー
副書名ヨミ	タサイナシンキオウヨウオカバー
内容紹介	半導体、ディスプレイ、記録などのキーデバイスにおける、薄膜形成や微細加工技術の進展と技術レベルが、コストや性能を決定する。薄膜、加工技術の基礎から応用まで、最新情報を踏まえて解説する。