検索結果書誌詳細：蔵書検索システム

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蔵書情報

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No.	所蔵館	資料番号	請求記号	所蔵場所	配架場所	帯出区分	状態	貸出
1	ミライｏｎ	1114199564	576.5/ﾁ/	３F	閉架図書	帯出可	在庫	○

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別	図書（一般）
著者名	角田光雄／監修
著者名ヨミ	ツノダテルオ
出版者	シーエムシー
出版年月	2000.9
ページ数	247p
大きさ	21cm
ISBN	4-88231-083-X
分類記号	576.5
書名	超精密洗淨技術の開発　(CMC books)
書名ヨミ	チョウセイミツセンジョウギジュツノカイハツ
	初版の書名:超精密洗淨技術
内容紹介	精密洗浄と超精密洗浄に関し、定義・メカニズム・評価から様々な洗浄システムの解説及び有機溶剤系・水系・アルコール系などの洗浄剤の動向等を詳述。92年刊「超精密洗浄技術」の普及版。