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No.	所蔵館	資料番号	請求記号	所蔵場所	配架場所	帯出区分	状態	貸出
1	ミライｏｎ	1115739228	549.8/ﾊ/	３F	閉架式見	帯出可	在庫	○

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別	図書（一般）
著者名	日本半導体製造装置協会／編
著者名ヨミ	ニホンハンドウタイセイゾウソウチキョウカイ
出版者	日刊工業新聞社
出版年月	2000.11
ページ数	588p
大きさ	22cm
ISBN	4-526-04666-3
分類記号	549.8
書名	半導体製造装置用語辞典　第5版
書名ヨミ	ハンドウタイセイゾウソウチヨウゴジテン
内容紹介	半導体産業の発展は日本の産業基盤強化に大きく寄与し、経済への波及効果も非情に大きい。急速な技術進展を背景に、21世紀の新技術に適用できる用語辞典をめざす。97年刊に次ぐ改訂第5版。