検索結果書誌詳細：蔵書検索システム

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No.	所蔵館	資料番号	請求記号	所蔵場所	配架場所	帯出区分	状態	貸出
1	ミライｏｎ	1114274115	549.8/ﾏ/	３F	閉架式見	帯出可	在庫	○

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別	図書（一般）
著者名	前田和夫／著
著者名ヨミ	マエダカズオ
出版者	工業調査会
出版年月	2000.12
ページ数	310p
大きさ	21cm
ISBN	4-7693-1192-3
分類記号	549.8
書名	はじめての半導体プロセス　(ビギナーズブックス)
書名ヨミ	ハジメテノハンドウタイプロセス
内容紹介	過去半世紀、停滞することなく高集積化・高密度化・高性能化を続けてきた半導体デバイス。その進歩を常に支えてきた半導体製造技術における半導体プロセスについて解説した入門書。