検索結果書誌詳細：蔵書検索システム

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蔵書情報

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No.	所蔵館	資料番号	請求記号	所蔵場所	配架場所	帯出区分	状態	貸出
1	ミライｏｎ	1114998227	549.8/ﾊ-02/	３F	閉架図書	帯出可	在庫	○

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別	図書（一般）
著者名	遠藤伸裕／著　小林伸好／著　若宮亙／著
著者名ヨミ	エンドウノブヒロ　コバヤシノブヨシ　ワカミヤワタル
出版者	工業調査会
出版年月	2002.4
ページ数	190p
大きさ	21cm
ISBN	4-7693-1210-5
分類記号	549.8
書名	はじめての半導体製造材料　(ビギナーズブックス)
書名ヨミ	ハジメテノハンドウタイセイゾウザイリョウ
内容紹介	現在のシリコン半導体製造プロセスでは、実に様々な材料が使用されている。これら半導体製造材料を構造とプロセスにそって解説。材料名の羅列を避け、初心者向けに、半導体材料の物理的イメージに主眼をおいてまとめる。