検索結果書誌詳細：蔵書検索システム

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蔵書情報

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No.	所蔵館	資料番号	請求記号	所蔵場所	配架場所	帯出区分	状態	貸出
1	ミライｏｎ	1115827525	549/ｱ-04/	３F	閉架図書	帯出可	在庫	○

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別	図書（一般）
著者名	麻蒔立男／著
著者名ヨミ	アサマキタツオ
出版者	日刊工業新聞社
出版年月	2004.1
ページ数	159p
大きさ	21cm
ISBN	4-526-05226-4
分類記号	549
書名	トコトンやさしい超微細加工の本　(B&Tブックス)
書名ヨミ	トコトンヤサシイチョウビサイカコウノホン
内容紹介	電子デバイスに欠かせないキーテクノロジーであり、ナノテクノロジーの中核技術として注目されている超微細加工について、半導体部品などへの適応を中心に、基礎を図解でやさしく解説する。
著者紹介	昭和9年愛知県生まれ。静岡大学工学部電子工学科卒業。日電バリアン(現、アネルバ)設立。同社取締役も務めた。現在、東京理科大学嘱託教授。著書に「真空の話」「薄膜作成の基礎」ほか。