検索結果書誌詳細：蔵書検索システム

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No.	所蔵館	資料番号	請求記号	所蔵場所	配架場所	帯出区分	状態	貸出
1	ミライｏｎ	1115834875	549.8/ﾏ-04/	３F	閉架図書	帯出可	在庫	○

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別	図書（一般）
著者名	前田和夫／著
著者名ヨミ	マエダカズオ
出版者	工業調査会
出版年月	2004.2
ページ数	239p
大きさ	21cm
ISBN	4-7693-1225-3
分類記号	549.8
書名	はじめての半導体ナノプロセス　(ビギナーズブックス)
書名ヨミ	ハジメテノハンドウタイナノプロセス
内容紹介	ナノテクノロジー時代の半導体プロセス技術について、これまでの技術の流れからどのような変革が行われようとしているかを具体的に解説。半導体デバイス、実装技術、測定・評価技術などの重要テーマの動向についてもふれる。