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所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

　

書名

MEMSのはなし　(Science and technology)

著者名 前田竜太郎／編著
著者名ヨミ マエダ リュウタロウ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2005.1

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No. 所蔵館 資料番号 請求記号 所蔵場所 配架場所 帯出区分 状態 貸出
1 ミライｏｎ1116309093530/ﾒ-05/３F閉架図書帯出可在庫  ○

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別 図書（一般）
著者名 前田竜太郎／編著 　 池原毅／著 　 小林健／著 　 単学伝／著
著者名ヨミ マエダ リュウタロウ　イケハラ ツヨシ　コバヤシ タケシ　タン ガクデン
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2005.1
ページ数 126p
大きさ 19cm
ISBN 4-526-05404-6
分類記号 530
書名 MEMSのはなし　(Science and technology)
書名ヨミ メムス ノ ハナシ
内容紹介 電気回路、情報処理、センサ、光デバイスといった分野において頻繁に見られるようになった言葉「MEMS(微小電気機械システム)」。その製造方法、様々な応用と動作原理、設計手法について概説する。
著者紹介 独立行政法人産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門マイクロ実装研究グループグループ長。工学博士。



内容細目

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