蔵書情報
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書名 |
プラズマプロセスによる薄膜の基礎と応用
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著者名 |
市村博司/著
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著者名ヨミ |
イチムラ ヒロシ |
出版者 |
日刊工業新聞社
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出版年月 |
2005.2 |
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資料情報
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No. |
所蔵館 |
資料番号 |
請求記号 |
所蔵場所 |
配架場所 |
帯出区分 |
状態 |
貸出
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1 |
ミライon | 1116370294 | 549.8/イ-05/ | 3F | 閉架図書 | 帯出可 | 在庫 |
○ |
書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
書誌種別 |
図書(一般) |
著者名 |
市村博司/著
池永勝/著
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著者名ヨミ |
イチムラ ヒロシ イケナガ マサル |
出版者 |
日刊工業新聞社
|
出版年月 |
2005.2 |
ページ数 |
276p |
大きさ |
21cm |
ISBN |
4-526-05420-8 |
分類記号 |
549.8
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書名 |
プラズマプロセスによる薄膜の基礎と応用 |
書名ヨミ |
プラズマ プロセス ニ ヨル ハクマク ノ キソ ト オウヨウ |
内容紹介 |
材料表面の機能を高めるための薄膜技術は、近年、機械部品、電子部品、光学部品などに応用され、急速に発展している。プラズマプロセスによる薄膜技術の全体像を解説する。 |
著者紹介 |
1941年東京生まれ。東京工業大学大学院博士課程修了。神奈川工科大学客員教授。 |
内容細目
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