蔵書情報
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書名 |
半導体製造プロセスと材料 (CMCテクニカルライブラリー)
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著者名 |
大見忠弘/監修
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著者名ヨミ |
オオミ タダヒロ |
出版者 |
シーエムシー出版
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出版年月 |
2005.10 |
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資料情報
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No. |
所蔵館 |
資料番号 |
請求記号 |
所蔵場所 |
配架場所 |
帯出区分 |
状態 |
貸出
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1 |
ミライon | 1116430755 | 549.8/ハ-05/ | 3F | 閉架図書 | 帯出可 | 在庫 |
○ |
書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
書誌種別 |
図書(一般) |
著者名 |
大見忠弘/監修
|
著者名ヨミ |
オオミ タダヒロ |
出版者 |
シーエムシー出版
|
出版年月 |
2005.10 |
ページ数 |
274p |
大きさ |
21cm |
ISBN |
4-88231-866-0 |
分類記号 |
549.8
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書名 |
半導体製造プロセスと材料 (CMCテクニカルライブラリー) |
書名ヨミ |
ハンドウタイ セイゾウ プロセス ト ザイリョウ |
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欧文タイトル:Process and materials of semiconductor equipment-初版のタイトル:新しい半導体製造プロセスと材料 |
内容紹介 |
大学及び産業界の第一線の研究者30名により、半導体製造に係わるプロセスと技術・材料、それを支える周辺技術を可能な限り網羅。半導体製造に係わるすべての研究開発担当者、企画担当者に役立つ技術書。 |
内容細目
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