蔵書情報
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書名 |
入門フォトマスク技術
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著者名 |
田邉功/著
|
著者名ヨミ |
タナベ イサオ |
出版者 |
工業調査会
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出版年月 |
2006.12 |
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資料情報
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No. |
所蔵館 |
資料番号 |
請求記号 |
所蔵場所 |
配架場所 |
帯出区分 |
状態 |
貸出
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1 |
ミライon | 1116721744 | 549.7/ニ-06/ | 3F | 閉架図書 | 帯出可 | 在庫 |
○ |
書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
書誌種別 |
図書(一般) |
著者名 |
田邉功/著
竹花洋一/著
法元盛久/著
|
著者名ヨミ |
タナベ イサオ タケハナ ヨウイチ ホウガ モリヒサ |
出版者 |
工業調査会
|
出版年月 |
2006.12 |
ページ数 |
323p |
大きさ |
21cm |
ISBN |
4-7693-1259-8 |
分類記号 |
549.7
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書名 |
入門フォトマスク技術 |
書名ヨミ |
ニュウモン フォトマスク ギジュツ |
副書名 |
LSI,FPD,PWB,MEMSのためのフォトマスク |
副書名ヨミ |
エルエスアイ エフピーディー ピーダブリュービー メムス ノ タメ ノ フォト マスク |
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欧文タイトル:Introduction to Photomask Technology |
内容紹介 |
半導体ならびに電子部品分野の技術に関係している方々を対象に、マスク技術に関する基本的な項目、内容を網羅した参考書。半導体デバイスのみならず、FPDとPWB、ならびにMEMSで使用されるマスクについても記述。 |
著者紹介 |
千葉大学工学部工業化学科写真映画専攻卒業。(有)ITコンサルティング代表取締役社長。 |
内容細目
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