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所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

 

書名

入門フォトマスク技術 

著者名 田邉功/著
著者名ヨミ タナベ イサオ
出版者 工業調査会
出版年月 2006.12


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No. 所蔵館 資料番号 請求記号 所蔵場所 配架場所 帯出区分 状態 貸出
1 ミライon1116721744549.7/ニ-06/3F閉架図書帯出可在庫 

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

書誌種別 図書(一般)
著者名 田邉功/著   竹花洋一/著   法元盛久/著
著者名ヨミ タナベ イサオ タケハナ ヨウイチ ホウガ モリヒサ
出版者 工業調査会
出版年月 2006.12
ページ数 323p
大きさ 21cm
ISBN 4-7693-1259-8
分類記号 549.7
書名 入門フォトマスク技術 
書名ヨミ ニュウモン フォトマスク ギジュツ
副書名 LSI,FPD,PWB,MEMSのためのフォトマスク
副書名ヨミ エルエスアイ エフピーディー ピーダブリュービー メムス ノ タメ ノ フォト マスク
欧文タイトル:Introduction to Photomask Technology
内容紹介 半導体ならびに電子部品分野の技術に関係している方々を対象に、マスク技術に関する基本的な項目、内容を網羅した参考書。半導体デバイスのみならず、FPDとPWB、ならびにMEMSで使用されるマスクについても記述。
著者紹介 千葉大学工学部工業化学科写真映画専攻卒業。(有)ITコンサルティング代表取締役社長。



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